

N5馆 - 5485展位
2026年3月25-27日
上海 新国际博览中心
大家好呀!
我是你们的老朋友小福~春节的喜气还在心头萦绕,咱们英福康就已经整装待发,迎来了2026年开年后第一场重量级盛会——SEMICON China 2026!
3月25日-27日,小福将在上海新国际博览中心与大家见面,一起聊聊半导体制造背后的“硬核黑科技”,也聊聊如何用欧洲精研的技术,护航每一颗“中国芯”的诞生。
诚邀!
聚焦未来工厂,英福康有备而来!
本次SEMICON 2026,我们以 “Building Tomorrow's Smart Factory Today” 为主题,带来从残余气体分析、泄漏检测、真空测量到智能制造的全链路解决方案。
下面就跟着小福先睹为快吧~
01、RGA家族——为工艺气体做“实时体检”

作为高端RGA领域的业界标杆,英福康Transpector系列源自欧洲精研技术,近日在欧洲启动本土化生产——以更稳定的全球供应,为半导体制造保驾护航。
Transpector CPX—— 极速精准的“数据分析师”

专为ALD、CVD、PVD等严苛工艺而生,实时监测气体成分,确保每一步精准无误。相比上一代,体积减小30%,集成更轻松,操作更简便。
Transpector MPH—— 多气体并行监测的“多面手”

高灵敏度残余气体监测,支持多气体并行检测,广泛应用于真空工艺、薄膜沉积等场景,稳稳守护工艺稳定与质量控制。
Transpector XPR 3+—— 高压环境下依然灵敏的“极限挑战者”

可在20mTorr高压环境下稳定工作,测量速度行业领先。从高真空到20mTorr范围,都能高灵敏度检测空气泄漏和污染。双离子源设计延长使用寿命,快速诊断让工厂运行更高效。
02、泄漏检测“黄金搭档”UL3000 Fab & SMART-Spray
UL3000 Fab 氦气检漏仪—— 移动灵活的“检漏专家”

专为现代半导体工厂打造,高灵敏度、快速启动、测试精准,紧凑设计完美适配严苛空间,为高效运转提供可靠保障。
SMART-Spray 氦气喷枪—— 无线便携的“省钱小能手”

专为UL系列设计,无线无管,单次充氦可喷超1000次,精准定位泄漏点,大幅节省氦气用量和成本。配备彩色照明显示屏,复杂环境下操作更简便。
03、真空测量系列 守护工艺的“第一道关口”
多系列真空计

1、英福康为半导体行业提供全系列的真空测量传感器,覆盖从粗真空到超高真空的广泛量程,稳稳守护真空压力控制和腔室完整性,为高产量和高品质打好基础。
清洁真空组件 & xParts涂层技术

2、采用英福康自主研发的xParts ALD涂层技术,涂层纯净、致密、无缺陷,耐受性强,从容应对腐蚀性工艺。根据不同工艺要求,提供标准、清洁与涂层三种清洁等级,在延长真空计使用寿命的同时,保障工艺环境的洁净度与稳定性。
04、让工厂“会思考” 英福康流程智能解决方案

面向未来工厂的智能化需求,英福康提供贯通全流程的实时生产数据管理与调度系统:
01、Factory Scheduler智能排产系统:协调设备、物料与物流,确保产品精准流转,消除瓶颈,减少闲置产能。
02、FPS数字孪生系统:基于实时数据精准预测,优化工厂生产调度,实现智能排产、优化库存周转、降低设备能耗,并通过可视化生产进度推动全面智能制造。





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bao@hvacr.cn
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