诚邀
半导体制造的每一步进阶,都离不开精密检测与过程控制的坚实支撑。8月31日,第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)将在无锡太湖国际博览中心启幕。深耕半导体领域数十年的英福康,将携多款前沿产品与核心技术亮相,与行业同仁共探半导体制造的精准之道。
我们在哪?
展会时间:8月31-9月2日
展馆地址:无锡太湖国际博览中心
英福康展位:B3馆 453展位


现场看什么?
LINXON® LX218 氦气和氢气检漏仪

LINXON LX218 来自英福康自有国产品牌"灵讯",融合欧洲精密技术与中国制造智慧,兼具高品质与高性价比。
在半导体制造中,刻蚀、沉积等工艺对真空腔体密封性要求极为苛刻,微小泄漏便可能导致整批晶圆报废。LX218最快响应时间仅0.5秒,最小可检测泄漏率<5×10⁻¹³ Pa·m³/s,快速精准定位泄漏点,为半导体产线良率保驾护航。离子源核心部件提供3年质保,坚固耐用,从容应对半导体现场复杂环境。
Zevision® IMC300控制器

薄膜沉积工艺中,膜厚均匀性与速率控制精度直接影响芯片性能。Zevision® IMC300采用英福康ModeLock测量系统,厚度精度达0.5%,频率分辨率±0.00656 Hz,以卓越的厚度精度和极低的速率噪声最大限度提升再现性与均匀性。ModeLock技术可显著延长晶体使用寿命,最大限度增加运行次数、降低晶体消耗成本。支持单个控制器同时运行多个源,配备触摸屏前面板,菜单易于浏览、配方构建直观,帮助半导体制造商在先进制程中实现精准可靠的膜厚控制。
真空测量传感器

从大气压到超高真空,英福康提供覆盖半导体全工艺流程的真空测量解决方案,以高品质确保生产过程中的真空压力控制和真空室完整性。
共话半导体制造新未来
在半导体制造的更多关键环节,我们同样提供不可或缺的技术支撑。
高端RGA领域业界标杆,英福康Transpector系列为PVD、CVD/ALD等苛刻工艺提供长效监测,选择性蚀刻同样游刃有余。
面向智能工厂,英福康提供Factory Scheduler智能排产系统与FPS数字孪生系统,贯通全流程实时数据管理与调度,助力半导体制造迈向全面智能化。
展会现场更有专业技术团队驻守展位,随时为您答疑解惑,深入交流。





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bao@hvacr.cn
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